Кунченко, В.В.; Аксенов, И.И.
(Вопросы атомной науки и техники, 2000)
Приведены результаты исследований свойств покрытий, полученных осаждением Ti плазмы дугового разряда низкого давления в режиме положительного анодного падения потенциала в зависимости от давления активного газа (N₂ и ...