Исследование зондовых методов получения элементов наноэлектронных приборов и технологии диагностики с использованием электростатической силовой микроскопии

Abstract

В работе исследованы зондовые методы построения наноэлектронных приборов и их диагностики с использованием электростатической силовой микроскопии. Рассмотрены пути повышения информативности измерений распределений зарядов и потенциалов в процессе получения элементов наноструктур.

У роботі досліджено зондові методи побудови наноелектронних приладів та їх діягностики з використанням електростатичної силової мікроскопії. Розглянуто шляхи підвищення інформативности мірянь розподілів зарядів і потенціялів у процесі одержання елементів наноструктур.

Probe methods for nanoelectronic devices design and their diagnostics using electrostatic force microscopy are studied. The ways of increasing of information capability of measurements of the charge and potentials distributions in the process of formation of nanostructure elements are analysed.