Тензорезистивный эффект в поликристаллической многослойной пленке

Abstract

С использованием квазиклассического приближения в рамках модифицированной модели Маядаса и Шацкеса теоретически проанализирован тензорезистивный эффект в многослойной поликристаллической пленке. Получено общее (при произвольном соотношении между толщинами слоев) и асимптотические (для толстых и тонких по сравнению с длиной свободного пробега электронов слоев металла, входящих в состав мультислоя) выражения для коэффициентов продольной и поперечной тензочувствительности. Предсказана их немонотонная зависимость от отношений толщин соседних слоев металла и выполнен детальный численный расчет коэффициента продольной тензочувствительности при различных значениях параметров, характеризующих мультислой.

З використанням квазикласичного наближення у рамках модифікованого моделю Маядаса і Шацкеса теоретично проаналізовано тензорезистивний ефект у багатошаровій полікристалічній плівці. Одержано загальне (при довільному співвідношенні між товщинами шарів) та асимптотичні (для товстих і тонких у порівнянні з довжиною вільного пробігу електронів шарів металу, які входять до складу багатошарової плівки) вирази для коефіцієнтів поздовжньої і поперечної тензочутливости. Передбачено їх немонотонну залежність від відношення товщин суміжних шарів металу і виконано детальний чисельний розрахунок коефіцієнта поздовжньої тензочутливости при довільних значеннях параметрів, які характеризують мультишар.

Within the scope of the modified Mayadas—Shatzkes model, the tensoresistance of a multilayered polycrystalline film is analysed theoretically. The general and asymptotical expressions for the coefficients of the strainsensitivity (CSS) are obtained. A non-monotonic behaviour of the CSS as a function of the ratio of the adjacent layer thicknesses is predicted. A detailed calculation of the longitudinal CSS for the wide range of the layer thicknesses at various values of the parameters, which characterize the multilayer, is performed.