Васькевич, В.В.; Гайшун, В.Е.; Коваленко, Д.Л.
(Наносистеми, наноматеріали, нанотехнології, 2014)
В работе рассмотрена возможность создания диэлектрических SiO2
-
покрытий на основе золь–гель-метода путём гидролиза металлоорганических соединений кремния в водно-спиртовой смеси. Описаны оптимальные параметры нанесения ...