Иващук, А.В.
(Технология и конструирование в электронной аппаратуре, 2000)
Описано устройство для термоообработки полупроводниковых пластин, обеспечивающее быстрый нагрев и охлаждение образцов и создающее необходимые условия для равномерной рекристаллизации и улучшения морфологии омических контактов ...