Емкостный датчик давления для АЭС и нефтехимической промышленности

dc.contributor.author	Лепих, Я.И.
dc.contributor.author	Лопушенко, В.К.
dc.date.accessioned	2014-11-15T19:03:28Z
dc.date.available	2014-11-15T19:03:28Z
dc.date.issued	2001
dc.identifier.citation	Емкостный датчик давления для АЭС и нефтехимической промышленности / Я.И. Лепих, В.К. Лопушенко // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2001. — № 6. — С. 47. — Бібліогр.: 1 назв. — рос.	uk_UA
dc.identifier.issn	2225-5818
dc.identifier.uri	http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/70895
dc.description.abstract	Описан разработанный датчик избыточного давления для систем контроля технологических параметров АЭС и предприятий нефтехимической промышленности. В отличие от датчиков на структурах "кремний-на-сапфире", датчик использует емкостный метод преобразования. Приведены основные технические характеристики.	uk_UA
dc.language.iso	ru	uk_UA
dc.publisher	Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України	uk_UA
dc.relation.ispartof	Технология и конструирование в электронной аппаратуре
dc.subject	Сенсоэлектроника	uk_UA
dc.title	Емкостный датчик давления для АЭС и нефтехимической промышленности	uk_UA
dc.type	Article	uk_UA
dc.status	published earlier	uk_UA
dc.identifier.udc	681.586.326