Вакуумное напыление тонких пленок органических полупроводников и исследование их структуры

dc.contributor.author	Орлов, В.Д.
dc.contributor.author	Удовицкий, В.Г.
dc.date.accessioned	2014-11-15T18:45:13Z
dc.date.available	2014-11-15T18:45:13Z
dc.date.issued	2001
dc.identifier.citation	Вакуумное напыление тонких пленок органических полупроводников и исследование их структуры / В.Д. Орлов, В.Г. Удовицкий // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2001. — № 6. — С. 9-11. — Бібліогр.: 12 назв. — рос.	uk_UA
dc.identifier.issn	2225-5818
dc.identifier.uri	http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/70885
dc.description.abstract	Исследованы тонкие пленки органических полупроводников с макроциклической структурой фталоцианина и дигидродибензотетрааза[14]аннулена. Подтверждено, что при напылении в вакууме химическая структура молекул органических полупроводников сохраняется. Пленки имеют пористую мелкокристаллическую структуру. При определенных условиях напыления были получены высокоупорядоченные ориентированные пленки даже на аморфных неориентированных подложках. Пленки обладали полупроводниковой электропроводностью р-типа. Методом рентгеноструктурного анализа показано влияние химического модифицирования структуры на пространственное строение молекул.	uk_UA
dc.language.iso	ru	uk_UA
dc.publisher	Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України	uk_UA
dc.relation.ispartof	Технология и конструирование в электронной аппаратуре
dc.subject	Материалы для микроэлектроники	uk_UA
dc.title	Вакуумное напыление тонких пленок органических полупроводников и исследование их структуры	uk_UA
dc.type	Article	uk_UA
dc.status	published earlier	uk_UA
dc.identifier.udc	621.793:539.234