Лепих, Я.И.; Лопушенко, В.К.
(Технология и конструирование в электронной аппаратуре, 2001)
Описан разработанный датчик избыточного давления для систем контроля технологических параметров АЭС и предприятий нефтехимической промышленности. В отличие от датчиков на структурах "кремний-на-сапфире", датчик использует ...