Завадский, В.А.; Ленков, С.В.; Лукомский, Д.В.; Мокрицкий, В.А.
(Технология и конструирование в электронной аппаратуре, 2002)
Показана возможность управления параметрами эпитаксиальных слоев арсенида галлия с помощью радиационной обработки быстрыми нейтронами. В технологическом аспекте облучение нейтронами предлагается разделить на два вида в ...