Дудин, С.В.; Яцков, А.П.; Фареник, В.И.
(Технология и конструирование в электронной аппаратуре, 2002)
Проведен обзор методов и устройств зондового контроля плазменных технологических процессов. Описана серия приборов «Контроль», использующих специально разработанные схемы компенсации и обработки зондового сигнала, а также ...