Показати простий запис статті
dc.contributor.author |
Сидоренко, В.П. |
|
dc.contributor.author |
Кизяк, А.Ю. |
|
dc.contributor.author |
Николаенко, Ю.Е. |
|
dc.date.accessioned |
2014-11-11T15:16:34Z |
|
dc.date.available |
2014-11-11T15:16:34Z |
|
dc.date.issued |
2003 |
|
dc.identifier.citation |
Влияние кремниевой подложки на пробивное напряжение разветвленного n⁺⁺-p⁺-перехода / В.П. Сидоренко, А.Ю. Кизяк, Ю.Е. Николаенко // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2003. — № 6. — С. 56-58. — Бібліогр.: 7 назв. — рос. |
uk_UA |
dc.identifier.issn |
2225-5818 |
|
dc.identifier.uri |
http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/70724 |
|
dc.description.abstract |
Рассмотрено влияние микродефектов, а также примесей кислорода и углерода в кремниевой подложке на пробивное напряжение неуправляемого n⁺⁺-p⁺-перехода. Кратко рассмотрен механизм влияния примеси кислорода на тип пробоя. Рассмотрены возможности практического использования результатов данной работы в технологии изготовления СБИС. |
uk_UA |
dc.language.iso |
ru |
uk_UA |
dc.publisher |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
uk_UA |
dc.relation.ispartof |
Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
|
dc.subject |
Интегральные схемы и полупроводниковые приборы |
uk_UA |
dc.title |
Влияние кремниевой подложки на пробивное напряжение разветвленного n++-p+-перехода |
uk_UA |
dc.title.alternative |
Вилив кремнієвої підкладинки на пробивну напругу розгалуженого n⁺⁺-p⁺-переходу |
uk_UA |
dc.type |
Article |
uk_UA |
dc.status |
published earlier |
uk_UA |
dc.identifier.udc |
621.315.592 |
|
Файли у цій статті
Ця стаття з'являється у наступних колекціях
Показати простий запис статті