Сидоренко, В.П.; Кизяк, А.Ю.; Николаенко, Ю.Е.
(Технология и конструирование в электронной аппаратуре, 2003)
Рассмотрено влияние микродефектов, а также примесей кислорода и углерода в кремниевой подложке на пробивное напряжение неуправляемого n⁺⁺-p⁺-перехода. Кратко рассмотрен механизм влияния примеси кислорода на тип пробоя. ...