Кунченко, Ю.В.; Кунченко, В.В.; Неклюдов, И.М.; Картмазов, Г.Н.; Андреев, А.А.
(Вопросы атомной науки и техники, 2007)
Показана возможность формирования нанослойных TiNx/CrNx-покрытий методом вакуумно-дугового осаждения на плоскость конденсации, которая, вращаясь вокруг оси камеры установки типа «Булат», последовательно пересекает осаждаемые ...