Наукова електронна бібліотека
періодичних видань НАН України

Перегляд Вопросы атомной науки и техники, 2007, № 1 за автором "Dudin, S.V."

Репозиторій DSpace/Manakin

Перегляд Вопросы атомной науки и техники, 2007, № 1 за автором "Dudin, S.V."

Сортувати за: Порядок: Результатів:

  • Walkowicz, J.; Zykov, A.V.; Dudin, S.V.; Yakovin, S.D. (Вопросы атомной науки и техники, 2007)
    The investigation results of the DC magnetron sputtering system for synthesis of high-quality oxide coatings are presented. In the system oxygen, activated by an independent Inductively-Coupled Plasma (ICP) source, is ...

Пошук


Розширений пошук

Перегляд

Мій обліковий запис