Васильев, В.В.; Лучанинов, А.А.; Решетняк, Е.Н.; Стрельницкий, В.Е.; Толмачева, Г.Н.; Решетняк, М.В.
(Вопросы атомной науки и техники, 2009)
Представлены результаты экспериментов по осаждению Ti-N- и Ti-Si-N-покрытий из фильтрованной плазмы вакуумно-дугового разряда с Ti- и Ti-7 вес.%Si-катодами при давлении азота 1·10⁻⁴ … 5·10⁻³ Торр и потенциале подложки 3…150 ...