Решетняк, Е.Н.; Стрельницкий, В.Е.
(Вопросы атомной науки и техники, 2008)
Дан краткий обзор современного состояния исследований нанокристаллических материалов. Рассмотрены наиболее перспективные технологии получения наноструктурных пленок. Отмечено, что наноструктурные пленки представляют собой ...