Обеспечение устойчивости PVD покрытий созданием дискретной топографии с задаваемыми параметрами

Abstract

Показано, что в PVD покрытиях, для которых характерны значительные остаточные напряжения сжатия, предотвратить вспучивание покрытия с его последующим разрушением можно формированием покрытий дискретного типа с заданными параметрами. Предельно допустимая протяженность дискретного участка покрытия, при прочих равных условиях, будет различна на основах из разных материалов. Создание дискретной топографии повышает самоорганизацию системы основа—покрытие и расширяет возможности применения вакуум-плазменных покрытий.