Двухфункциональный датчик давления-температуры на основе нитевидных кристаллов кремния

dc.contributor.author	Дружинин, А.А.
dc.contributor.author	Кутраков, А.П.
dc.contributor.author	Лях-Кагуй, Н.С.
dc.contributor.author	Вуйцик, А.М.
dc.date.accessioned	2014-02-16T19:11:55Z
dc.date.available	2014-02-16T19:11:55Z
dc.date.issued	2013
dc.identifier.citation	Двухфункциональный датчик давления-температуры на основе нитевидных кристаллов кремния / А.А. Дружинин, А.П. Кутраков, Н.С. Лях-Кагуй, А.М. Вуйцик // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2013. — № 4. — С. 23-26. — Бібліогр.: 13 назв. — рос.	uk_UA
dc.identifier.issn	2225-5818
dc.identifier.uri	http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/56345
dc.description.abstract	Представлена конструкция датчика давления-температуры на основе нитевидных кристаллов кремния р-типа, легированных бором, с удельным сопротивлением 0,005 Ом∙см, который работоспособен в интервале температур от –100 до +200°С и в диапазоне давлений от 0 до 20 МПа. Датчик предназначен для широкой области применений.	uk_UA
dc.description.abstract	Представлено конструкцію дататчика тиску-температури на основі ниткоподібних кристалів кремнію р-типу, лелегованих бором, з питомим опором 0,005 Ом∙см, який є працездатним в інтервалі температури від –100 до +200°С і в діапазоні тиску від 0 до 20 МПа. Датчик призначений для широкої області застосувань.	uk_UA
dc.description.abstract	The article presents the design of a pressure-temperature sensor based on p-type silicon whiskers, doped with boron, with a resistivity of 0,005 Ohm∙cm. The sensor is operable in a temperature range from –100 to +200°C and at pressures from 0 to 20 MPa. The sensor is designed for a wide range of applications.	uk_UA
dc.language.iso	ru	uk_UA
dc.publisher	Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України	uk_UA
dc.relation.ispartof	Технология и конструирование в электронной аппаратуре
dc.subject	Сенсоэлектроника	uk_UA
dc.title	Двухфункциональный датчик давления-температуры на основе нитевидных кристаллов кремния	uk_UA
dc.title.alternative	Двофункціональний датчик тиску-температури на основі нитковидних кристалів кремнію	uk_UA
dc.title.alternative	Dual-function pressure-temperature sensor based on silicon whiskers	uk_UA
dc.type	Article	uk_UA
dc.status	published earlier	uk_UA
dc.identifier.udc	621.315.592