Лазерное текстурирование поверхности предварительно нагретого монокристалла кремния

dc.contributor.author	Крапивко, Г.И.
dc.date.accessioned	2014-01-22T22:07:08Z
dc.date.available	2014-01-22T22:07:08Z
dc.date.issued	2005
dc.identifier.citation	Лазерное текстурирование поверхности предварительно нагретого монокристалла кремния / Г.И. Крапивко // Технология и конструирование в электронной аппаратуре.— 2005.— № 2.— С. 53-55.— Бібліогр.: 11 назв. — рос.	uk_UA
dc.identifier.issn	2225-5818
dc.identifier.uri	http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/53555
dc.description.abstract	Осуществлен метод лазерной обработки, основанный на эффективном изменении поверхности при текстурировании предварительно нагретого монокристалла кремния.	uk_UA
dc.language.iso	ru	uk_UA
dc.publisher	Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України	uk_UA
dc.relation.ispartof	Технология и конструирование в электронной аппаратуре
dc.subject	Технологические процессы и оборудование	uk_UA
dc.title	Лазерное текстурирование поверхности предварительно нагретого монокристалла кремния	uk_UA
dc.title.alternative	Лазерне текстурування поверхні попередньо нагрітого монокристалу кремнію	uk_UA
dc.title.alternative	Laser chasing of surface a single crystal heated up preliminary of Si	uk_UA
dc.type	Article	uk_UA
dc.status	published earlier	uk_UA