Наноструктурированные пленки ZnO для устройств микроэлектроники и оптики

dc.contributor.author	Белянин, А.Ф.
dc.contributor.author	Кривченко, В.А.
dc.contributor.author	Лопаев, Д.В.
dc.contributor.author	Павлушкин, Л.В.
dc.contributor.author	Пащенко, П.В.
dc.contributor.author	Пирогов, В.Г.
dc.contributor.author	Поляков, С.Н.
dc.contributor.author	Суетин, Н.В.
dc.contributor.author	Сушенцов, Н.И.
dc.date.accessioned	2014-01-19T22:30:21Z
dc.date.available	2014-01-19T22:30:21Z
dc.date.issued	2006
dc.identifier.citation	Наноструктурированные пленки ZnO для устройств микроэлектроники и оптики / А.Ф. Белянин, В.А. Кривченко, Д.В. Лопаев, Л.В. Павлушкин, П.В. Пащенко, В.Г. Пирогов, С.Н. Поляков, Н.В. Суетин, Н.И. Сушенцов // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2006. — № 6. — С. 48-55. — Бібліогр.: 8 назв. — рос.	uk_UA
dc.identifier.issn	2225-5818
dc.identifier.uri	http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/53399
dc.description.abstract	Пленки ZnO получены методом магнетронного ВЧ-распыления. Применялось дополнительное магнитное поле, создаваемое магнитной системой, помещенной за подложкодержателем.	uk_UA
dc.language.iso	ru	uk_UA
dc.publisher	Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України	uk_UA
dc.relation.ispartof	Технология и конструирование в электронной аппаратуре
dc.subject	Технологические процессы и оборудование	uk_UA
dc.title	Наноструктурированные пленки ZnO для устройств микроэлектроники и оптики	uk_UA
dc.title.alternative	Наноструктуровані плівки ZnO для пристроїв мікроелектроніки та оптики	uk_UA
dc.title.alternative	Nano-structured ZnO films for microelectronics and optical devices	uk_UA
dc.type	Article	uk_UA
dc.status	published earlier	uk_UA