Наукова електронна бібліотека
періодичних видань НАН України

Взаимодействие атомарного водорода с поверхностью монокристаллов кремния

Репозиторій DSpace/Manakin

Показати простий запис статті

dc.contributor.author Жавжаров, Е.Л.
dc.contributor.author Матюшин, В.М.
dc.date.accessioned 2014-01-14T23:14:48Z
dc.date.available 2014-01-14T23:14:48Z
dc.date.issued 2006
dc.identifier.citation Взаимодействие атомарного водорода с поверхностью монокристаллов кремния / Е.Л. Жавжаров, В.М. Матюшин // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2006. — № 4. — С. 61-64. — Бібліогр.: 8 назв. — рос. uk_UA
dc.identifier.issn 2225-5818
dc.identifier.uri http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/52976
dc.description.abstract Определена стабильность во времени потенциала поверхности кристаллов кремния после их модификации, выявлена зависимость механизма взаимодействия атомарного водорода с кристаллами от их параметров. uk_UA
dc.language.iso ru uk_UA
dc.publisher Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України uk_UA
dc.relation.ispartof Технология и конструирование в электронной аппаратуре
dc.subject Материалы электроники uk_UA
dc.title Взаимодействие атомарного водорода с поверхностью монокристаллов кремния uk_UA
dc.title.alternative Взаємодія атомарного водню з поверхнею монокристалів кремнію uk_UA
dc.title.alternative The influence of atomic hydrogen on surface of monocrystals of silicon uk_UA
dc.type Article uk_UA
dc.status published earlier uk_UA


Файли у цій статті

Ця стаття з'являється у наступних колекціях

Показати простий запис статті

Пошук


Розширений пошук

Перегляд

Мій обліковий запис