Технологические источники ионов на основе контрагированных разрядов

dc.contributor.author	Никитинский, В.А.
dc.contributor.author	Журавлев, Б.И.
dc.date.accessioned	2014-01-14T23:09:08Z
dc.date.available	2014-01-14T23:09:08Z
dc.date.issued	2006
dc.identifier.citation	Технологические источники ионов на основе контрагированных разрядов / В.А. Никитинский, Б.И. Журавлев // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2006. — № 4. — С. 55-58. — Бібліогр.: 18 назв. — рос.	uk_UA
dc.identifier.issn	2225-5818
dc.identifier.uri	http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/52974
dc.description.abstract	Обеспечивается создание ускоренных пучков ионов с токами до 0,6 А и энергиями до 5 кэВ с равномерным распределением плотности тока ионов в поперечном сечении пучков площадью от 10⁻⁴ до 0,2 м².	uk_UA
dc.language.iso	ru	uk_UA
dc.publisher	Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України	uk_UA
dc.relation.ispartof	Технология и конструирование в электронной аппаратуре
dc.subject	Технологические процессы и оборудование	uk_UA
dc.title	Технологические источники ионов на основе контрагированных разрядов	uk_UA
dc.title.alternative	Технологічні джерела іонів на основі контрагірованих розрядів	uk_UA
dc.title.alternative	Engineering ion sources on basis contracting discharges	uk_UA
dc.type	Article	uk_UA
dc.status	published earlier	uk_UA