Обобщенный теоретический подход к анализу газофазных процессов эпитаксии

dc.contributor.author	Воронин, В.А.
dc.contributor.author	Губа, С.К.
dc.contributor.author	Сиверс, В.Н.
dc.date.accessioned	2014-01-10T00:26:54Z
dc.date.available	2014-01-10T00:26:54Z
dc.date.issued	2006
dc.identifier.citation	Обобщенный теоретический подход к анализу газофазных процессов эпитаксии / В.А. Воронин, С.К. Губа, В.Н. Сиверс // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2006. — № 3. — С. 50-55. — Бібліогр.: 23 назв. — рос.	uk_UA
dc.identifier.issn	2225-5818
dc.identifier.uri	http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/52920
dc.description.abstract	Решение полученных уравнений для конкретных систем и реакторов позволяет определить неравновесные концентрации компонентов как функцию координат и времени в объеме реактора.	uk_UA
dc.language.iso	ru	uk_UA
dc.publisher	Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України	uk_UA
dc.relation.ispartof	Технология и конструирование в электронной аппаратуре
dc.subject	Технологические процессы и оборудование	uk_UA
dc.title	Обобщенный теоретический подход к анализу газофазных процессов эпитаксии	uk_UA
dc.title.alternative	Узагальнений теоретичний підхід до аналізу газофазних процесів эпітаксії	uk_UA
dc.title.alternative	Common theoretical approach to the gas phase epitaxy processes	uk_UA
dc.type	Article	uk_UA
dc.status	published earlier	uk_UA