Никитинский, В.А.; Журавлев, Б.И.
(Технология и конструирование в электронной аппаратуре, 2006)
Обеспечивается создание ускоренных пучков ионов с токами до 0,6 А и энергиями до 5 кэВ с равномерным распределением плотности тока ионов в поперечном сечении пучков площадью от 10⁻⁴ до 0,2 м².