Показати простий запис статті
dc.contributor.author |
Томаль, В.С. |
|
dc.date.accessioned |
2014-01-08T19:07:47Z |
|
dc.date.available |
2014-01-08T19:07:47Z |
|
dc.date.issued |
2007 |
|
dc.identifier.citation |
Ультразвуковая очистка оптико-механических систем / В.С. Томаль // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2007. — № 5. — С. 57-60. — Бібліогр.: 2 назв. — рос. |
uk_UA |
dc.identifier.issn |
2225-5818 |
|
dc.identifier.uri |
http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/52880 |
|
dc.description.abstract |
Исследованы процессы очистки от загрязнений оптико-механических систем различными видами функциональных покрытий и разработан процесс ультразвуковой очистки, обеспечивающий высокую ее эффективность. |
uk_UA |
dc.language.iso |
ru |
uk_UA |
dc.publisher |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
uk_UA |
dc.relation.ispartof |
Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
|
dc.subject |
Технологические процессы и оборудование |
uk_UA |
dc.title |
Ультразвуковая очистка оптико-механических систем |
uk_UA |
dc.title.alternative |
Ультразвукова очистка оптико-механічних систем |
uk_UA |
dc.title.alternative |
Ultrasonic clearing of optics-mechanical systems |
uk_UA |
dc.type |
Article |
uk_UA |
dc.status |
published earlier |
uk_UA |
Файли у цій статті
Ця стаття з'являється у наступних колекціях
Показати простий запис статті