Трехкоординатный пьезокерамический сканер на биморфных пьезо-элементах для зондового наномикроскопа

dc.contributor.author	Шарапов, В.М.
dc.contributor.author	Гуржий, А.Н.
dc.contributor.author	Филимонов, С.А.
dc.date.accessioned	2014-01-07T22:58:57Z
dc.date.available	2014-01-07T22:58:57Z
dc.date.issued	2007
dc.identifier.citation	Трехкоординатный пьезокерамический сканер на биморфных пьезо-элементах для зондового наномикроскопа / В.М. Шарапов, А.Н. Гуржий, С.А. Филимонов // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2007. — № 4. — С. 13-15. — Бібліогр.: 6 назв. — рос.	uk_UA
dc.identifier.issn	2225-5818
dc.identifier.uri	http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/52825
dc.description.abstract	Предложена и исследована конструкция пьезокерамического сканера для наномикроскопов на основе диморфных пьезоэлементов. Построена и исследована модель сканера при помощи программы MicroCap 7.0.	uk_UA
dc.language.iso	ru	uk_UA
dc.publisher	Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України	uk_UA
dc.relation.ispartof	Технология и конструирование в электронной аппаратуре
dc.subject	Электронные средства: исследования, разработки	uk_UA
dc.title	Трехкоординатный пьезокерамический сканер на биморфных пьезо-элементах для зондового наномикроскопа	uk_UA
dc.title.alternative	Трьохкоординатний п’єзокерамічний сканер на біморф¬них п’єзоелементах для зондового наномікроскопа	uk_UA
dc.title.alternative	Three-coordinate the piezoceramic scanner on bimorphic piezoelements for probe nanomicroscope	uk_UA
dc.type	Article	uk_UA
dc.status	published earlier	uk_UA