Автоматизированный спектрометр глубоких уровней для исследования полупроводниковых структур

dc.contributor.author	Бойко, Ю.В.
dc.contributor.author	Кузнецов, Г.В.
dc.contributor.author	Савицкий, С.М.
dc.contributor.author	Третяк, О.В.
dc.date.accessioned	2014-01-07T19:17:54Z
dc.date.available	2014-01-07T19:17:54Z
dc.date.issued	2007
dc.identifier.citation	Автоматизированный спектрометр глубоких уровней для исследования полупроводниковых структур / Ю.В. Бойко, Г.В. Кузнецов, С.М. Савицкий, О.В. Третяк // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2007. — № 3. — С. 59-61. — Бібліогр.: 6 назв. — рос.	uk_UA
dc.identifier.issn	2225-5818
dc.identifier.uri	http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/52818
dc.description.abstract	Описан автоматизированный спектрометр для исследования параметров примесных и дефектных глубоких центров, поверхностных состояний в полупроводниковых структурах методом релаксационной спектроскопии глубоких уровней.	uk_UA
dc.language.iso	ru	uk_UA
dc.publisher	Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України	uk_UA
dc.relation.ispartof	Технология и конструирование в электронной аппаратуре
dc.subject	Технологические процессы и оборудование	uk_UA
dc.title	Автоматизированный спектрометр глубоких уровней для исследования полупроводниковых структур	uk_UA
dc.title.alternative	Автоматизований спектрометр глибоких рівнів для дослідження напівпровідникових структур	uk_UA
dc.title.alternative	Automated spectrometer of deep levels for research semiconducting structures	uk_UA
dc.type	Article	uk_UA
dc.status	published earlier	uk_UA