Технологии изготовления фотонных кристаллов

dc.contributor.author	Березянский, Б.М.
dc.date.accessioned	2014-01-05T20:35:51Z
dc.date.available	2014-01-05T20:35:51Z
dc.date.issued	2007
dc.identifier.citation	Технологии изготовления фотонных кристаллов / Б.М. Березянский // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2007. — № 1. — С. 45-51. — Бібліогр.: 22 назв. — рос.	uk_UA
dc.identifier.issn	2225-5818
dc.identifier.uri	http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/52649
dc.description.abstract	Приведен обзор методов изготовления фотонных кристаллов для нанофотонных микросхем. Рассмотрены перспективы применения технологий в условиях промышленного производства таких устройств.	uk_UA
dc.language.iso	ru	uk_UA
dc.publisher	Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України	uk_UA
dc.relation.ispartof	Технология и конструирование в электронной аппаратуре
dc.subject	Технологические процессы и оборудование	uk_UA
dc.title	Технологии изготовления фотонных кристаллов	uk_UA
dc.title.alternative	Технології виготовлення фотонних кристалів	uk_UA
dc.title.alternative	Technologies of the fabrication of photonic crystals	uk_UA
dc.type	Article	uk_UA
dc.status	published earlier	uk_UA