Лопин, А.В.; Семёнов, А.В.; Пузиков, В.М.
(Технология и конструирование в электронной аппаратуре, 2007)
На основе нанокристаллических пленок кубического политипа карбида кремния, полученных прямым ионным осаждением на подложке из лейкосапфира, разработан интерференционный датчик температуры.