Березянский, Б.М.
(Технология и конструирование в электронной аппаратуре, 2007)
Приведен обзор методов изготовления фотонных кристаллов для нанофотонных микросхем. Рассмотрены перспективы применения технологий в условиях промышленного производства таких устройств.