Дружинин, А.A.; Голота, В.И.; Когут, И.Т.
(Технология и конструирование в электронной аппаратуре, 2007)
Предложен практический способ формирования элементов субмикронных размеров с использованием совмещения с базовыми знаками стандартной проекционной литографии, предварительно созданными на этапе "нулевой" фотолитографии.