Дружинин, А.А.; Голота, В.И.; Когут, И.Т.; Сапон, С.В.; Ховерко, Ю.М.
(Технология и конструирование в электронной аппаратуре, 2008)
Предложена структура преобразования топологической информации для цифровой литографии. Разработаны метод формирования трехмерных структур кремний-на-изоляторе и элементы управления автоэмиссионного микрокатода.