Воронин, В.А.; Губа, С.К.; Курило, И.В.
(Технология и конструирование в электронной аппаратуре, 2008)
Исследованы технологические условия формирования перенасыщенной паровой фазы при низкотемпературной газотранспортной эпитаксии для выращивания гетеро- и наноструктур на основе соединений In1-xGax As, GaAs1-xPx.