Исследование погрешности сопротивления тонкопленочного резистора

dc.contributor.author	Спирин В.Г.
dc.date.accessioned	2013-12-29T17:38:30Z
dc.date.available	2013-12-29T17:38:30Z
dc.date.issued	2009
dc.identifier.citation	Исследование погрешности сопротивления тонкопленочного резистора / В.Г. Спирин // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2009. — № 5. — С. 42-44. — Бібліогр.: 7 назв. — рос.	uk_UA
dc.identifier.issn	2225-5818
dc.identifier.uri	http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/52314
dc.description.abstract	Исследована погрешность сопротивления тонкопленочного резистора, вызванная исключением контактных площадок перекрытия резистивного и проводящего слоев.	uk_UA
dc.description.abstract	Розглянуто конструкцію тонкоплівкового резистора без контактних площадок перекриття резистивного елементу і провідника. Досліджена залежність похибки опору такого резистора від несуміщення фотошаблона з провідним шаром підкладки при другій фотолітографії, яка досягає свого максимального значення при коефіцієнті форми резистора, що дорівнює 1,0.	uk_UA
dc.description.abstract	A relationship between a thin-film resistor resistance error and mask misalignment with a substrate conductive layer at the second photolithography stage for a thin-film resistor design in which the resistive element does not overlap conductor pads is studied. The error value is at a maximum when the resistor aspect ratio is equal to 1.0.	uk_UA
dc.language.iso	ru	uk_UA
dc.publisher	Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України	uk_UA
dc.relation.ispartof	Технология и конструирование в электронной аппаратуре
dc.subject	Технологические процессы и оборудование	uk_UA
dc.title	Исследование погрешности сопротивления тонкопленочного резистора	uk_UA
dc.title.alternative	Дослідження похибки опору тонкоплівкового резистора	uk_UA
dc.title.alternative	Study of thin-film resistor resistance error	uk_UA
dc.type	Article	uk_UA
dc.status	published earlier	uk_UA