Каримов, А.В.; Ёдгорова, Д.М.; Якубов, Э.Н.
(Технология и конструирование в электронной аппаратуре, 2009)
Экспериментально установлено, что изменяя условия выращивания, можно получить эпитаксиальные слои с требуемыми параметрами (толщиной, подвижностью и концентрацией носителей заряда).