Радиационная технология улучшения омических контактов к элементам электронной техники

dc.contributor.author	Конакова, Р.В.
dc.contributor.author	Колядина, Е.Ю.
dc.contributor.author	Матвеева, Л.А
dc.contributor.author	Нелюба, П.Л.
dc.contributor.author	Шинкаренко, В.В.
dc.date.accessioned	2013-12-22T00:54:49Z
dc.date.available	2013-12-22T00:54:49Z
dc.date.issued	2010
dc.identifier.citation	Радиационная технология улучшения омических контактов к элементам электронной техники / Р.В. Конакова, Е.Ю. Колядина, Л.А, Матвеева П.Л. Нелюба, В.В. Шинкаренко // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2010. — № 5-6. — С. 40-42. — Бібліогр.: 6 назв. — рос.	uk_UA
dc.identifier.issn	2225-5818
dc.identifier.uri	http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/51983
dc.description.abstract	Исследовано влияние типа металлизации и микроволнового облучения на свойства омических контактов к гетеро-структурам, содержащим фуллерены. Выявлено преимущество титановой металлизации перед золотой.	uk_UA
dc.description.abstract	Розглянуто два види металізації (Au, Ti) до матеріалу, що містить фулерен. Досліджено ефективність мікрохвильоого відпалу полімер-фулеренового шару з обома металізаціями, та показано, що НВЧ-обробка знижує сумарний опір структури в обох випадках. Показано перспективність використання титанової металізації у порівнянні з золотою, та проаналізовано механізми, що обумовлюють якість титанової металізації.ѕ	uk_UA
dc.description.abstract	Two types of metallization (Au, Ti) to a fullerene-bearing material are investigated. The advantages of microwave annealing are noted. Microwave annealing of polymer-fullerene layers with both metallizations is studied; the resistance decreases in both cases. The titanium metallization seems to be more promising than the gold one. The mechanisms responsible for titanium metallization quality are presented.	uk_UA
dc.language.iso	ru	uk_UA
dc.publisher	Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України	uk_UA
dc.relation.ispartof	Технология и конструирование в электронной аппаратуре
dc.subject	Технологические процессы и оборудование	uk_UA
dc.title	Радиационная технология улучшения омических контактов к элементам электронной техники	uk_UA
dc.title.alternative	Радіаційна технологія покращення омічних контактів до елементів електронної техніки	uk_UA
dc.title.alternative	Radiation technology for improvement of ohmic contacts to the electronic device elements	uk_UA
dc.type	Article	uk_UA
dc.status	published earlier	uk_UA