Лазерные устройства для измерения геометрических параметров трехмерных объектов

dc.contributor.author	Ильин, В.Н.
dc.contributor.author	Дубешко, А.В.
dc.contributor.author	Михаевич, Д.А.
dc.date.accessioned	2013-12-20T20:40:47Z
dc.date.available	2013-12-20T20:40:47Z
dc.date.issued	2010
dc.identifier.citation	Лазерные устройства для измерения геометрических параметров трехмерных объектов / В.Н. Ильин, А.В. Дубешко, Д.А. Михаевич // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2010. — № 3. — С. 13-16. — Бібліогр.: 5 назв. — рос.	uk_UA
dc.identifier.issn	2225-5818
dc.identifier.uri	http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/51947
dc.description.abstract	Представлены базовые варианты многокоординатных устройств контроля сложных профилей поверхности, отличающиеся способом формирования зондирующего пучка, и принцип построения трехкоординатной системы измерения высоты и линейных размеров микросборок ПЗС.	uk_UA
dc.description.abstract	Описано метод вимірювання, представлено базові варіанти багатокоординатних пристроїв контролю складних профілів поверхні, що відрізняються способом формування зондуючого пучка. Розглянуто принцип побудови та конструкцію трьохкоординатної системи вимірювання висоти та лінійних розмірів мікроскладань ПЗС.	uk_UA
dc.description.abstract	The article describes measuring method and presents basic varients of multi-coordinate devices for complicated surface shape control, with distinguishing method of sounding beam forming. The constructing principle and the construction of three-coordinate measuring system for height and linear dimensions of charge-coupled device are considered.	uk_UA
dc.language.iso	ru	uk_UA
dc.publisher	Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України	uk_UA
dc.relation.ispartof	Технология и конструирование в электронной аппаратуре
dc.subject	Электронные средства: исследования, разработки	uk_UA
dc.title	Лазерные устройства для измерения геометрических параметров трехмерных объектов	uk_UA
dc.title.alternative	Лазерні пристрої для виміру геометричних параметрів тривимірних об.єктів	uk_UA
dc.title.alternative	Laser devices for geometric parameters measuring of three-dimensional objects	uk_UA
dc.type	Article	uk_UA
dc.status	published earlier	uk_UA