Новое технологическое оборудование для инновационных технологий микро-, нано- и радиоэлектроники

dc.contributor.author	Одиноков, В.В.
dc.contributor.author	Павлов, Г.Я.
dc.date.accessioned	2013-12-11T19:25:56Z
dc.date.available	2013-12-11T19:25:56Z
dc.date.issued	2011
dc.identifier.citation	Новое технологическое оборудование для инновационных технологий микро-, нано- и радиоэлектроники / В.В. Одиноков, Г.Я. Павлов // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2011. — № 3. — С. 41-43. — рос.	uk_UA
dc.identifier.issn	2225-5818
dc.identifier.uri	http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/51823
dc.description.abstract	Представлены новые разработки - комплекты вакуумно-плазменного и физико-термического технологического оборудования микро-, нано-, радиоэлектроники для технического обучения, научных исследований, отработки технологических процессов, а также для обеспечения мелкосерийного производства на предприятиях малого и среднего бизнеса.	uk_UA
dc.description.abstract	Представлено нові розробки - комплекти вакуумно-плазмового і фізико-термічного технологічного обладнання мікро-, нано-, радіоелектроніки для технічного навчання, наукових досліджень, відпрацювання технологічних процесів, а також для забезпечення дрібносерійного виробництва на підприємствах малого та середнього бізнесу.	uk_UA
dc.description.abstract	Some new developments are presented - vacuum-plasma and physics-thermal processing equipment kits for micro, nano- and radio electronics for technical training, research, technological process development, as well as for smallscale production in small and medium-sized businesses.	uk_UA
dc.language.iso	ru	uk_UA
dc.publisher	Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України	uk_UA
dc.relation.ispartof	Технология и конструирование в электронной аппаратуре
dc.subject	Технологические процессы и оборудование	uk_UA
dc.title	Новое технологическое оборудование для инновационных технологий микро-, нано- и радиоэлектроники	uk_UA
dc.title.alternative	Нове технологічне обладнання для інноваційних технологій мікро-, нано-та радіоелектроніки	uk_UA
dc.title.alternative	New technological equipment for the innovative technologies of micro-, nano- and radio electronics	uk_UA
dc.type	Article	uk_UA
dc.status	published earlier	uk_UA