Годованюк, В.Н.; Рюхтин, В.В.; Михайличенко, Ю.С.; Швец, А.Г.; Шимановский, А.Б.; Фединчук, И.И.
(Технология и конструирование в электронной аппаратуре, 2011)
В предложенной конструкции датчика используется связь между скоростью потоков газа и тепла внутри самого датчика. Разработана планарная технология изготовления датчика и методика измерений в диапазоне температур.