Оборудование для формирования омических контактов полупроводниковых приборов на основе соединений A₃B₅

dc.contributor.author	Александров, С.Б.
dc.contributor.author	Крупальник, К.М.
dc.contributor.author	Корнилов, Н.А.
dc.contributor.author	Кондратьева, Т.А.
dc.date.accessioned	2013-12-08T02:01:36Z
dc.date.available	2013-12-08T02:01:36Z
dc.date.issued	2011
dc.identifier.citation	Оборудование для формирования омических контактов полупроводниковых приборов на основе соединений A₃B₅ / С.Б Александров.,К.М. Крупальник, Н.А. Корнилов, Т.А. Кондратьева // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2011. — № 1-2. — С. 49-52. — Бібліогр.: 5 назв. — рос.	uk_UA
dc.identifier.issn	2225-5818
dc.identifier.uri	http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/51765
dc.description.abstract	Рассмотрены принципы построения технологических модулей. Показаны значения контактного сопротивления пленок, полученных с помощью установок электронно-лучевого напыления серии STE EB и установок быстрого термического отжига серии STE RTA.	uk_UA
dc.description.abstract	Розглянуто особливості технологічного процесу формування омічних контактів напівпровідникових приладів на основі сполук A₃B₅, загальні принципи побудови технологічних модулів. Показано результати, отримані за допомогою установок електронно-променевого напилення серії STE EB і установок швидкого термічного відпалу серії STE RTA.	uk_UA
dc.description.abstract	Technological process features of ohmic contacts formation in semi-conductor devices based on A₃B₅ connections and the general principles of technological modules construction are considered. The results received by means of installations of an electron-beam evaporation of STE EB series and installations of fast thermal annealing of STE RTA series are shown.	uk_UA
dc.language.iso	ru	uk_UA
dc.publisher	Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України	uk_UA
dc.relation.ispartof	Технология и конструирование в электронной аппаратуре
dc.subject	Технологические процессы и оборудование	uk_UA
dc.title	Оборудование для формирования омических контактов полупроводниковых приборов на основе соединений A₃B₅	uk_UA
dc.title.alternative	Обладнання для формування омічних контактів напівпровідникових приладів на основі сполук A₃B₅	uk_UA
dc.title.alternative	The equipment for ohmic contacts formation in semi-conductor devices based on A₃B₅ connections	uk_UA
dc.type	Article	uk_UA
dc.status	published earlier	uk_UA