Дружинин, А.А.; Кутраков, А.П.; Лях-Кагуй, Н.С.; Вуйцик, А.М.
(Технология и конструирование в электронной аппаратуре, 2013)
Представлена конструкция датчика давления-температуры на основе нитевидных кристаллов кремния р-типа, легированных бором, с удельным сопротивлением 0,005 Ом∙см, который работоспособен в интервале температур от –100 до ...