Пределы управляемости диэлектрической неоднородности, расположенной между металлическими плоскостями

Abstract

Получены оценки управляемости характеристиками расположенной между металлическими плоскостями диэлектрической неоднородности как элемента микромеханически управляемых СВЧ-устройств. Показано, что при микроперемещениях металлической плоскости над диэлектриком эффективная диэлектрическая проницаемость неоднородности может изменяться от значения относительной проницаемости диэлектрика до единицы. Получены критерии необходимой малости толщины диэлектрика или частоты, при которых диэлектрический эффект не наблюдается. Полученные результаты могут быть использованы при проектировании электромеханически управляемых СВЧ-устройств с использованием пьезоэлектрических и электрострикционных актюаторов или микроэлектромеханических систем.

Отримано оцінки керованості характеристиками розташованої між металевими площинами діелектричної неоднорідності як елемента мікромеханічних керованих НВЧ-пристроїв. Показано, що при мікроперемі-щеннях металевої площини над діелектриком ефективна діелектрична проникність неоднорідності може змінюватися від значення відносної проникності діелектрика до одиниці. Отримано критерії малості товщини діелектрика або частоти, при яких діелектричний ефект не спостерігається. Отримані результати можуть бути використані при проектуванні електромеханічних керованих НВЧ-пристроїв з використанням п'єзоелектричних і електрострикційних актюаторів або мікроелектромеханічних систем.

Controllability assessment of the characteristics of dielectric inhomogeneity, located between the metal planes, as part of micromechanically controlled microwave devices has been obtained. It is shown that with the micromovements of the metal plane over the dielectric, the effective dielectric constant of heterogeneity varies from the relative permeability value to one. The authors obtained smallness criteria of the thickness of dielectric or the frequency, at which the dielectric effect is not observed. The results can be used in design of electro-mechanically controlled microwave devices using piezoelectric and electrostrictive actuators and microelectromechanical system.