Дружинин, А.А.; Кутраков, А.П.; Марьямова, И.И.
(Технология и конструирование в электронной аппаратуре, 2012)
Проведены исследования, направленные на создание тензорезистивных датчиков давления на основе ни/невидных кристаллов кремния, работоспособных при высоких температур. Использование стеклоприпоя для крепления тензорезисторов ...