Крючин, А.А.; Костюкевич, С.А.
(Реєстрація, зберігання і обробка даних, 2010)
Представлены результаты исследований процессов получения наноразмерных рельефных структур с использованием методов неорганической лазерной фотолитографии. Показана перспективность применения неорганических фоторезистов на ...