Кравченко, Ю.С.; Савицький, А.Ю.
(Оптико-електронні інформаційно-енергетичні технології, 2008)
Розглянуто вплив вологості на технологічний процес виготовлення інтегральних мікросхем, принципи побудови сенсорів вологості робочих плазмоутворюючих газів для мікроелектронної технології. Проаналізовано шляхи підвищення ...