Андронова, Е.В.; Баганов, Е.А.; Курак, В.В.
(Промышленная теплотехника, 2007)
Рассмотрены процессы тепломассопереноса, происходящие при эпитаксии структур методом импульсного охлаждения насыщенного раствора-расплава с учетом слоя технологического газа между подложкой и теплопоглотителем. Получены ...