Formation of electron beams with given spatial distributions by the scanner

Abstract

In this article, the formation of given distributions of electron fluxes on the surfaces of irradiated objects using magnetic fields of one-dimensional and two-dimensional scanners was studied. The types of time-dependences of the change in the magnetic field was determined, providing both uniform and given distributions of the electron density on the irradiated surface. The influence of the energy and angular spread in the electron beam on the change in the density of particles on the surface was analyzed. The influence of these factors can be compensated by changing the magnetic field. For (X,Y)-scanner that generates electron beams: the main one (incident perpendicular to the object) and additional (incident angles of 60…75° from the perpendicular to the object), a significant effect of the energy spread on the incident angles of the additional beam was shown.

Досліджено формування заданих розподілів потоків електронів на поверхнях опромінених об’єктів за допомогою магнітних полів одновимірного та двовимірного сканерів. Визначено види залежностей зміни магнітного поля від часу, що забезпечують як однорідні, так і задані розподіли щільності електронів на поверхні, що опромінюється. Проаналізовано вплив енергетичного та кутового розкидів у пучку електронів що до зміни щільності частинок на поверхні. Вплив цих факторів може компенсуватися зміною магнітного поля. Для (X,Y)-сканера, що створює пучки електронів: основний (падає перпендикулярно об’єкту) і додатковий (кути падіння 60…75° від перпендикуляра до об'єкта), показано значний вплив енергетичного розкиду на кути падіння додаткового пучка.

Исследовано формирование заданных распределений потоков электронов на поверхностях облучаемых объектов при помощи магнитных полей одномерного и двумерного сканеров. Определены виды зависимо-стей изменения магнитного поля от времени, обеспечивающие как однородные, так и заданные распределения плотности электронов на облучаемой поверхности. Проанализировано влияние энергетического и углового разбросов в пучке электронов на изменение плотности частиц на поверхности. Влияние этих факторов может быть компенсировано изменением магнитного поля. Для (X,Y)-сканера, создающего пучки электро-нов: основной (падающий перпендикулярно объекту) и дополнительный (углы падения 60…75° от перпендикуляра к объекту), показано существенное влияние энергетического разброса на углы падения дополнительного пучка.