Кучинский, П.В.; Комаров, Ф.Ф.; Мильчанин, О.В.; Ковалева, Т.Б.; Солодуха, В.А.; Турцевич, А.С.; Соловьев, Я.А.; Гапоненко, С.В.
(Электрические контакты и электроды, 2014)
Предложен новый метод формирования барьера Шоттки, который включает магнетронное нанесение из многокомпонентной мишени, содержащей ванадий, платину и никель, тонкой пленки на кремнии с последующей ступенчатой термообработкой. ...