Объемные микроволновые резонаторы с азимутальной симметрией для оценки концентрации электронов в низкотемпературной плазме

Abstract

В работе рассматривается вопрос оценки эффективности применения объемных микроволновых резонаторов с азимутальной симметрией для оценки концентрации электронов в низкотемпературной плазме. При диагностике низкотемпературной плазмы в свободном пространстве, как правило, отсутствует явно выраженная азимутально-симметричная форма исследуемой области плазмы.

В роботі розглядається питання оцінки ефективності застосування об'ємних мікрохвильових резонаторів з азимутальною симетрією для оцінки концентрації електронів у низькотемпературній плазмі. При діагностиці низькотемпературної плазми у вільному просторі, як правило, відсутня явно виражена азимутально-симетрична форма області плазми, яка підлягає дослідженню.

This paper considers the efficiency of azimuthally symmetric microwave cavities in assessing the electron density in a low-temperature plasma. In free-space low-temperature plasma diagnostics, the shape of the plasma area under study usually does not have any pronounced azimuthal symmetry.