Формообразование плоских поверхностей оптоэлектронных элементов при алмазном полировании

Abstract

На основе физико-статистической модели образования частиц шлама обрабатываемого материала при алмазном полировании проведен анализ производительности съема и точности геометрической формы плоских поверхностей оптоэлектронных элементов из кварца, нитрида алюминия и нитрида галлия. Определены наиболее рациональные значения кинематических параметров настройки станка, при которых достигается требуемая точность формообразования. Приведены результаты экспериментальной проверки данных расчета производительности полирования и отклонения формы обработанных поверхностей.

На основі фізико-статистичної моделі утворення частинок шламу оброблюваного матеріалу при алмазному поліруванні проведено аналіз продуктивності зняття та точності геометричної форми плоских поверхонь оптоелектронних елементів з кварцу, нітриду алюмінію і нітриду галію. Визначені найбільш доцільні значення кінематичних параметрів налагодження верстата, за яких досягається потрібна точність формоутворення. Наведено результати експериментальної перевірки даних розрахунку продуктивності полірування та відхилення форми оброблених поверхонь.

On the basis of physical-statistical models of particle formation of sludge processed material with a diamond polishing the analysis of the performance of removal rate and accuracy of the geometric shape of flat surfaces of the optoelectronic elements of quartz, aluminium nitride and gallium nitride. Defined the most rational values of the kinematic settings of the machine, which achieves the required accuracy of forming. The results of experimental validation data the calculation of performance of polishing and form deviations of machined surfaces.